二手 HITACHI M 308AT #9410880 待售
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HITACHI M 308AT是為半導體加工應用而設計的蝕刻器或asher。這臺專業級機器的尺寸為30厘米,一定能滿足許多工業用戶的需求。HITACHI M-308AT的腔室直徑為11英寸,高度為6.7英寸,非常適合潔凈室操作。它最多可以處理8"晶片,同時支持4"和8"晶片,讓你在操作中節省空間。M 308 AT也有8型處理序列;表示類型A、B、C和D。每個序列都有不同的用途,可以根據要處理的材料類型而有所不同。A型提供單一腔室內的均勻蝕刻,而B型則設計用於雙腔室內的均勻蝕刻。C型最適合在單室中選擇性蝕刻,而D型則設計用於在雙室中選擇性蝕刻。每種模式都提供可以依賴的統一、可重現的蝕刻結果。M 308AT還有一個自動化控制器,使生活更輕松。這允許您對處理序列進行編程,指定晶片加載和卸載,以及監視溫度和設置警報。此控制設備可以連接到您的計算機,以隨時了解操作參數並記錄已完成的工作。它有一個功能強大的軟件,幫助管理系統,讓你保存和召回食譜。M-308AT室還配備了惰性氣體單元,有助於降低蝕刻過程中顆粒沈降在晶片上的風險。它還配備了有助於在蝕刻過程中保持溫度恒定的冷卻機。這使得它非常適合需要高精度結果的幹蝕刻應用。此蝕刻器/灰化器具有一次最多可容納20個晶片的噴嘴。可以設置噴嘴中晶片的間距,因此可以容納幾種不同類型的晶片。這與低氣流相結合,使其成為多種流程的理想多合一機。HITACHI M 308 AT設計用於光刻、濕法化學蝕刻、離子植入等幹蝕刻工藝。由於它的雙室工具,這臺機器也可以與化學機械拋光(CMP)等濕蝕刻工藝一起使用。這是一臺可靠的專業級機器,一定能滿足您所有的蝕刻需求。它還易於使用,其自動化控制器和用戶友好軟件。HITACHI M 308AT附有直觀易懂的用戶手冊,可幫助您進行任何可能需要的故障排除。
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