二手 HITACHI M 308ATE #293660510 待售
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ID: 293660510
晶圓大小: 6"
優質的: 2000
Metal etcher, 6"
Microwave: 2.65 GHz
RF Bias: 2 MHz
3 ECR Coils
Etch chamber
Microwave ash chamber: 2.65 GHz
(2) Load locks
Transfer chamber
MFC
Chiller
Power supply
2000 vintage.
TheHitachi HITACHI M 308ATE是M系列中最頂尖的蝕刻器/asher。它是一種功能強大、用途廣泛的工具，用於光刻制造工作和其他特定於行業的用途。它采用低維護設計和緊湊設計。其特點包括氣流控制、可編程精密深度控制和高級控制臺。M 308ATE能夠蝕刻金屬、玻璃和結晶表面。它具有高密度的氣流控制功能，允許每一層精確的氣流。氣體控制可以通過控制臺進行調整，因此用戶可以達到工作所需的確切壓力水平。深度控制以微米的方式調整蝕刻/灰度的深度，允許極其精確的蝕刻。HITACHI M 308ATE的控制臺是高級的,它提供了可根據作業設置的多個控件。這包括氣量、氣壓、速度控制，以及深度、面積等每一層的精細調整。它還有一個多語言顯示，允許多種語言的用戶使用蝕刻器。M 308ATE采用低維護設計,這意味著它需要最小的維護才能保持正常運行。其緊湊的設計使其易於融入到大多數工作區域，以及運輸到工作現場。蝕刻器還帶有內置的過濾器和排氣系統，可防止灰塵和其他汙染物。HITACHI M 308ATE是一種堅固可靠的蝕刻器/asher,具有很高的精度和控制能力。它的多功能性使其成為任何制造作業的理想選擇,而其低維護設計使其無需持續維護和關註即可執行嚴格的蝕刻/灰化項目。它的高級控制控制臺使用戶能夠實現極其精細的蝕刻/灰度處理,而其緊湊的設計使其能夠完美地適應任何工作環境。
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