二手 HITACHI M 308ATE #9410977 待售

HITACHI M 308ATE是一種用於半導體生產的蝕刻器/asher。它是一個完全自動化的系統，生產高質量的設備，非常精確。它采用高精度步進電機、強大激光器和固體氧化物蝕刻工藝的組合。該單元設計用於可靠、高速、可重復的蝕刻和等離子體灰化。其高速、直線電機驅動的X-Y級在最大直徑48.5毫米的零件上提供快速定位和精度。它還具有一個自動手臂，可以在一個平面上移動並裝載到舞臺上。該系統能夠通過厚矽基板進行蝕刻/灰化,而不會損壞或扭曲設備的精細結構或電路。M 308ATE采用四級蝕刻工藝，采用濕法蝕刻和等離子體蝕刻相結合的方法，這種方法涉及對底物的轟擊，其中包括用的是的氣體混合物。激光能夠在電路布局中創建類似全息圖的圖樣,並為成型設備提供了極其快速的機制。此外,系統利用四級異步進程在正確的時間觸發下一個步驟周期。用戶友好的操作使得它非常適合廣泛的應用，從批量生產到研發。它具有多種參數設置和每個步驟的用戶可編程功能,從而實現了多用途和準確的操作。此外,它還具有高度的安全性和可靠性,並具有自動監控和控制等內置安全功能。HITACHI M 308ATE是一款創新且可靠的蝕刻器/asher,可提供高分辨率、高精度和高速生產。它為半導體生產提供了一個全面的解決方案,提供了一個可靠高效的平臺,可提高成品零件的生產率和質量。