二手 HITACHI M 308NFXW #9103889 待售

HITACHI M 308NFXW
ID: 9103889
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
Aluminum etcher, 8" Gas: BCl3, CL2, CHF3, O2, N2, He 1993 vintage.
HITACHI M 308NFXW 蝕刻器/asher是一種高性能的機器,在各種蝕刻和灰化應用中提供精確和控制。該機設計用於執行包括等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻和感應耦合等離子體蝕刻在內的多種操作。該裝置由一個自動調整的兩級氣體輸送系統提供動力,該系統提供對蝕刻和灰化應用的最佳控制。M 308NFXW擁有圓形等離子體發生器,提供清潔、均勻、可靠的放電,以達到高質量的蝕刻/灰化效果。該系統可確保蝕刻/灰化材料能夠在較低的溫度下進行加工,同時提供高精度和可靠性,從而產生一致的蝕刻/灰化結果。此外,該單元還包含一個受控環境室,其中包括一個高密度絕緣材料,以減少損壞和汙染基板的風險。HITACHI M 308NFXW還具有可根據要求調整的大型壓力真空系統,有助於確保工作環境均勻,並提供最佳蝕刻和灰化效果。M 308NFXW在控制工藝的蝕刻和灰化參數方面提供了很高的精度。這包括可控壓力和基板的溫度,以及蝕刻/灰化氣流和最佳分辨率的蝕刻/灰化結果。HITACHI M 308NFXW還包括一個用戶友好的控制面板,可方便操作和調整各種參數。總體而言,M 308NFXW Etcher/Asher是一款用於各種蝕刻和灰化應用的優秀機器。它能夠以一致的精度提供可靠和均勻的結果,從而確保在產生優異的蝕刻/灰化結果時的質量。這使得HITACHI M 308NFXW成為各種應用程序的理想蝕刻器/asher。
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