二手 HITACHI M 318 #9144927 待售

HITACHI M 318是一款多功能蝕刻/asher設備，旨在滿足各種應用的需求。這種可靠的系統要求操作和維護需求極少但用途廣泛,從而降低了操作成本並提高了可靠性。M 318的加工室尺寸為250W x 200D x 200H mm,最高源溫度為1000 °C。該單元的設計考慮了大面積均勻性和可重復性。它具有一個自動化的可編程晶片操作單元，帶有電動卡盤、空氣軸承表、真空機和電子控制的基板溫度傳感器。可調寬範圍石英水平托盤和帶集成端部效應器的電子驅動懸臂促進了晶片的操作。該工具集成了計算機控制的發電機和汽化模塊，可精確控制沈積速率、溫度和沈積物料的數量。這有助於簡單或多層在基板上的均勻沈積。計算機控制也便於陽極氧化和蝕刻參數的優化和調整。HITACHI M 318帶有一個定制顯示器，可以通過觸摸屏操作，並提供所有參數的可視化監控。它還具有先進的晶圓溫度控制和一系列編程選項,包括各種終端效應器位置,其中包括測量和分析每個晶圓的溫度剖面的能力,為產品開發提供了寶貴的工具。M 318附帶高級軟件,包括自動配方生成器,以方便流程的設置。這有助於提高蝕刻或灰化過程的速度和準確性，同時還允許可重復的過程操作。為了進一步提高可靠性,資產包括內置診斷模型和Internet連接,以確保定期遠程監控和故障排除。為了安全起見，HITACHI M 318具有內置排氣設備，以及全面的緊急關閉按鈕。它還配有氣體閥、真空系統、空氣過濾器等一系列安全設備。為保證系統的穩健性，應定期進行維護，以確保最佳性能。M 318是一個高度可靠且用途廣泛的蝕刻/灰化單元，非常適合陶瓷、電介質、聚合物和金屬的蝕刻以及晶片的灰化或晶體切片等一系列應用。與所有薄膜沈積工藝兼容，HITACHI M 318既適合研究實驗室，也適合制造作業。