二手 HITACHI M 318SX #136433 待售

HITACHI M 318SX是一種半導體蝕刻器/asher儀器,用於精確高效地執行各種LE（光刻蝕刻）工藝。M 318SX專為成熟的半導體應用而設計,是一款功能齊全的模板蝕刻器/asher,能夠通過精密的機電設計,生產出超薄的多層器件。HITACHI M 318SX采用多圖樣設備（MPS）來準確高效地繪制精密結構圖案,同時提供高質量的聚合物薄膜結果。M 318SX采用集成工藝解決方案（IPS）,能夠將線條和空間特性縮小到0.25微米,同時還提供包括單、雙和三個陣列在內的各種功能。HITACHI M 318SX執行高離子蝕刻電流等離子體蝕刻和灰化過程，包括背面蝕刻、大衣蝕刻和選擇性蝕刻各向異性蝕刻（SEAE），可用於形成高縱橫比通道和溝槽。M 318SX具有先進的高分辨率3D成像系統,並配有高分辨率FIB/SEM,可實現極精確的蝕刻。HITACHI M 318SX還能夠執行電化學蝕刻和濕蝕刻過程,具體取決於要蝕刻的材料和特征。M 318SX非常適合單步和多步流程,並且可以輕松地與自動化流程控制系統集成。再者，HITACHI M 318SX還配備了大型觸摸屏顯示屏，讓用戶為了最大效率和便利定制界面。M 318SX是一個非常通用、高效的單元，用於生產各種LE工藝的精密蝕刻和asher結構。利用其強大的MPS和IPS功能以及高分辨率成像和FIB/SEM, HITACHI M 318SX能夠生產具有令人難以置信的精細特征分辨率的纖細多層設備。M 318SX是一個理想的解決方案，為經驗豐富的半導體用戶尋找能夠提供卓越性能和無與倫比的過程控制的機器。