二手 HITACHI M 501 #9161262 待售

HITACHI M 501是一款輕型多用途蝕刻器/asher,在多種過程中均提供卓越的性能和可靠性。M 501提供蝕刻和灰化功能,最高溫度可達950°C,另一個選項可高達1100 °C。這種組合提供了先進的工藝，如太陽能晶片變薄，通過孔隔離，和先進的MEMS制造。晶片放置在盒式磁帶上，裝入HITACHI M 501的上腔，而下腔容納過程氣體和射頻線圈。M 501的寬度為12，"深度為16"，在63磅時高度為14"，設計為適合大多數可用的實驗室空間。HITACHI M 501擁有一套內部安全關閉功能,包括過溫和過壓保護。M 501的內部設計包括三個獨立的石墨加熱器塊和三個上、下工藝室的獨立保護室。HITACHI M 501以手動或自動模式運行,可通過自己的專有軟件進行編程。啟動過程後,可以從彩色LCD觸摸面板監視和記錄內部壓力、溫度和氣體流量。M 501傳感器還允許精確的溫度和壓力控制,以確保晶圓的一致蝕刻或灰化。HITACHI M 501還使用了自偏置技術，例如Heimann蝕刻器，它可以實現極高的處理速度，每小時高達1200晶圓。這增加了蝕刻或灰化過程的吞吐量和均勻性。此外，該室是獨立的，這意味著它是密封的，不需要一個潔凈室操作。這提供了流程遷移的可能性,並允許在各種不同的實驗室或工業環境中在必要時使用M 501。總體而言,HITACHI M 501是一款可靠、高效的蝕刻器/asher,可用於多種應用程序。它的密封設計確保了一個幹凈的過程，安全參數的套件確保它可以完全安心操作。M 501具有用戶友好的控制和高級功能,是工業和實驗室應用的理想選擇。