二手 HITACHI M 501AW #9142682 待售

HITACHI M-501AW是一種用於半導體晶片精密蝕刻和灰化的蝕刻器/灰化器。它能夠在高速和嚴格的公差下進行蝕刻,具有極好的可重復性。M-501AW利用最先進的技術來確保晶圓質量，並且可以同時與高頻和基於等離子體的蝕刻技術一起使用。HITACHI M-501AW具有多個工藝入口和出口、高密度處理能力、靈活的控制系統和最佳的氣體控制功能。M-501AW能夠在平面或大型開放式3-D工藝站上進行蝕刻。它具有高精度的自動加載和卸載的晶片與軌道鎖定位置，保證位置精度和重復蝕刻模式。HITACHI M-501AW的氣體控制技術允許對各種工藝氣體進行最小的氣體流量和精確的動態控制。M-501AW可以控制每個蝕刻步驟中的多種氣體，從而實現更精確的蝕刻過程。HITACHI M-501AW設計為可靠有效的asher。其尖端技術確保了高吞吐量、低汙染和卓越的均勻性。它還具有先進的真空系統，可最大程度地減少粘連風險，並確保在蝕刻過程中超低顆粒水平。M-501AW的等離子體蝕刻預清潔步驟也有助於降低灰塵水平，提高工藝重復性。HITACHI M-501AW也是一款超高精度的asher。其自動灰化過程確保每次蝕刻深度準確且可重復。它可用於各種應用,包括深度蝕刻、後端線（BEOL）處理以及具有高長寬比的陣列。M-501AW還設計為環保、低功耗和先進的氣體管理系統，以減少氣體消耗和提高安全性。總體而言,HITACHI M-501AW是一臺先進的蝕刻和粉碎機,專為各種應用程序中的精確且可重復的過程而設計。它具有自動化、準確性和效率,使其成為滿足所有類型的半導體晶圓蝕刻和灰化需求的理想解決方案。