二手 HITACHI M 501AWE #9130052 待售
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HITACHI M 501AWE是一種適用於實驗室和工業應用的最先進的蝕刻器/asher。此設備專為高性能蝕刻而設計,可實現高密度的特性和更高的吞吐量。M 501AWE具有多種用戶友好的功能，使其成為各種蝕刻和灰化需求的理想選擇。HITACHI M 501AWE是一種多功能機器，具有集成的自動晶圓運輸設備。該系統提供了一個逐步的過程，以獲得最佳的蝕刻結果，從而便於操縱晶片。機器也有一系列的液體噴射清潔能力，使得晶圓上的任何粉末殘留物都可以去除。該機器受益於兩階段蝕刻工藝，產生更均勻的蝕刻。第一步是在溶液中進行濕蝕刻或蝕刻，第二階段是在等離子體或反應性氣體中進行幹蝕刻。雙過程使M 501AWE能夠減少蝕刻過程中可能出現的缺陷的形成。HITACHI M 501AWE可用於可變角度蝕刻（VAE）。VAE提供了對蝕刻過程的精確控制，使用戶能夠以不垂直或水平角度蝕刻結構。此特性通常用於精細細微結構的制造中。機器有一個內置的冷卻裝置，有助於保持蝕刻過程在一個一致的溫度。M 501AWE上可用的寬溫度範圍允許用戶設置大多數材料的蝕刻溫度。內置氣體機還有助於調節氣流，以達到最佳蝕刻效率。此外，HITACHI M 501AWE可用於精密細線蝕刻。這是一個實現高精度結果的過程，從而產生更高的生產精度和更高的產量。該機還具有先進的自動曝光工具,可提供一致且可重復的蝕刻結果。總體而言，M 501AWE是一種非常好的蝕刻器，適合廣泛的工業和實驗室應用。憑借其廣泛的特性和功能,它提供了用戶友好、高效的設置,並提供了高水平的控制和準確性。
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