二手 HITACHI M 501AWE #9133882 待售
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ID: 9133882
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Plasma etching system, 8"
System configuration:
2-Metal etching
1-Ashing CH
Etching CH gases: O2, CH4/Ar, CL2, BCl3, Ar, CH2F2, H2
Ashing CH gases: O2, CH3OH
Gas Jungle Information :
Cl2: STEC7440, 200SCCM
BCl3: STEC7440, 200SCCM
N2: STEC7440, 50SCCM
SF6: STEC7440, 50SCCM
O2: STEC7440, 200SCCM
Ar: STEC7440, 300SCCM
CHF3: STEC7440, 100SCCM
CH4: STEC7440, 200SCCM
HW unit :
PC Rack
Transfer box
Main body
Power supply unit
Temp control unit
Chiller
1997 vintage.
HITACHI M 501AWE是一種工業蝕刻器和asher,設計用於高溫和/或高壓應用。這款蝕刻器/asher采用四級蝕刻工藝,在包括鋁和不銹鋼在內的大多數金屬上創造出精確耐用的光潔度。其結果是一個高度詳細和持久的產品。M 501AWE采用最高級部件和焊接不銹鋼框架建造。其堅固的結構有助於抵禦高溫和高壓,其精心設計的安全特性確保它可以在各種環境中安全操作。蝕刻器/asher還具有廣泛的可變控制功能,可實現精確和經濟高效的操作。HITACHI M 501AWE采用四階段蝕刻工藝,從磨料爆破開始,使工件表面粗糙。然後用酸蝕刻來蝕刻掉不需要的材料。第三步是化學粘合劑,在材料用蝕刻劑或粉碎劑完成之前促進粘附。蝕刻器/asher裝有板載空氣壓縮機,方便且能蝕刻大部分金屬,包括鋁和不銹鋼。空氣壓縮機允許快速、一致的蝕刻和壓力。該單元還包括一個數字計時器,允許用戶設置蝕刻或灰化過程的時間長度。當然,M 501AWE還配有種類繁多的配件。這些包括保護屏蔽和濺射屏蔽以保護機器,蝕刻槍噴嘴以將蝕刻溶液射向工件,以及許多其他。有了這些配件,蝕刻器/asher可以是塑料、陶瓷和玻璃部件。HITACHI M 501AWE包括額外的安全功能,例如安全互鎖開關、熱過載保護和空氣壓縮機防靜電蓋。它還包括一個可調的溫度控制,以確保精確度和一致性的蝕刻過程。M 501AWE是一種用途廣泛且可靠的蝕刻器/灰化器,能夠精確、可靠地執行蝕刻和灰化過程。其堅固的結構、廣泛的可變控制以及全面的安全特性,使其成為用於高溫和/或高壓應用的絕佳選擇。
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