二手 HITACHI M 511 #293829872 待售

HITACHI M 511是一款低功耗、中等性能的蝕刻器/asher，用於各種基材的化學和物理蝕刻。適用於電子、半導體、光伏等行業的廣泛應用。該設備廣泛應用於研究和生產環境。系統的主要部件是靜電蝕刻室，其中低壓電場由強大的磁體產生。蝕刻是通過對底物上的離子進行高能轟擊的過程完成的，然後將其用於在表面上創建所需的圖樣。室內真空通過增加離子的遷移率來優化蝕刻過程。HITACHI M-511先進的控制單元對工作壓力、流量和蝕刻速率等各種參數提供精確的蝕刻控制。這樣可以確保薄膜的均勻蝕刻,從而實現很高的分辨率。該腔室采用不銹鋼壓板，有助於減少不希望的側壁基板蝕刻。機器還包括一個軟件，提供自動控制蝕刻過程。它具有強大的算法，提供了最佳的蝕刻輪廓，可控制的參數，如脈沖頻率和脈沖持續時間，以及用戶友好的圖形界面。該軟件還使用戶能夠在其內存中存儲多達10種不同的蝕刻配方。此外，該工具還裝有用於化學蝕刻的氣體輸送資產。這允許安全和精確地輸送不同的蝕刻氣體，例如氧氣、氯氣和六氟化硫（SF6）。氣體輸送模型的孔口是可調的，以控制氣體流量。M 511是一款可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher。它在設計時考慮了用戶安全，先進的控制設備使其成為電子、半導體、光伏行業廣泛應用的理想選擇。