二手 HITACHI M 511 #9257744 待售

HITACHI M 511是屬於HITACHI系列產品的蝕刻器/asher。它是為薄基板的蝕刻和灰化而設計的。HITACHI M-511是一種多通道設備,具有四個獨立的蝕刻和/或灰化通道,能夠獨立或同時運行,以提供高通量處理。它的設計采用了能夠產生低至0.01 Torr的真空，從而在薄膜材料的蝕刻/灰化方面實現了最佳操作。M 511配備了組件調平和車道修整能力，以確保每個晶圓的均勻性和穩定的電流流動。此外，該系統還有一個薄膜厚度監測裝置，可自動補償基板蝕刻/灰分速率的任何輕微漂移。集成的安全機器可防止基板過度蝕刻或過灰,以確保精細材料在加工過程中不會損壞。M-511配有集成的氮流控制器,有助於確保安全、高效的處理環境。HITACHI M 511采用堅固耐用的設計,每小時可處理多達150個晶圓,是實現精確蝕刻和灰化要求的通用工具。