二手 HITACHI M 511 #9356465 待售

HITACHI M 511
ID: 9356465
晶圓大小: 8"
Plasma etching system, 8".
HITACHI M 511 蝕刻器/asher是一種全自動、最先進的蝕刻和灰化設備。它具有觸摸屏界面,具有直觀易用的菜單,非常適合初學者和專家。使用HITACHI M-511您只需輕按幾下顯示器,即可精確控制蝕刻和灰化時間、溫度和壓力。該系統還針對所需的壓力和溫度變化提供自動校準。該單元使用單一的一米濺射源,可調整以匹配所需蝕刻或灰燼的深度。該機配有雙10角電極,賦予其高效電化學處理的高功率密度。這些電極可以連接在一起,甚至更高的處理速率。電極的新設計也保證了精確的熱控制和熱均勻性。此外,M 511允許可調的輸入功率高達500瓦,以實現快速優化的蝕刻和最大產量。該工具還包括易於監控的內置觀察窗口、用於壓力調節的電源控制開關、用於保護資產免受高脈沖的超壓安全開關以及緊急停止按鈕等安全功能。為了獲得最佳安全,M-511還具有雙重安全模型。雙重安全設備使用兩個級別的安保,以確保所有參數都在預先設定的安全限度內。為了提高效率,HITACHI M 511配備了一個自動采樣設備,用於檢測蝕刻和灰化過程的當前參數。然後,該設備可以對這些參數進行快速、準確的調整,從而節省時間並提高產量。HITACHI M-511還包括各種其他功能,如用於常見蝕刻和灰燼過程的智能預設程序,對當前過程的實時監控,以及用於維護最佳參數的自動調整算法。系統還具有存儲用戶信息和設置的內存單元。最重要的是,HITACHI為M 511提供1年保修。這使得它非常適合那些在預算和購買這種一流的蝕刻和灰化機時給予安心。
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