二手 HITACHI M 511AE #9133920 待售

ID: 9133920
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Plasma etching system, 8" System configuration: 3-Poly CH Etching CH gases: N2, SF6, CL2, CF4, Ar, O2 Gas Jungle Information : N2 : STEC7440-20SCCM, STEC4400-200SCCM SF6 : STEC7440, 20SCCM, 300SCCM Cl2 : STEC7440-50SCCM, STEC4400-200SCCM CF4 : STEC7440, 50SCCM O2 : STEC4400, 2SLM Ar : STEC7440, 300SCCM HW Unit : PC Rack Transfer box Main body Chiller 1996 vintage.
HITACHI M 511AE Asher/Etcher是一種高科技微減法處理工具,設計用於工業和研究層面的應用。該裝置能夠嚴格控制用於納米級塗層、沈積和去除材料的化學蝕刻和濺射技術的範圍。HITACHI M 511 AE以堅固耐用的結構和多級容量為特點,為用戶提供了解決各種樣品制造過程的功能和改進。M 511AE配備了重型工業級歧管,非常適合處理大型工藝訂單,以及靈活的電源選項,可根據各種特定於樣品的要求進行定制配置。設備裝有許多專用的附件組件,包括旋轉進紙器、源裝載器和多級存儲容器,每個組件都經過優化,以實現精確的參數控制和強大的性能。精密氣體分配管提供用戶定義的居住時間,可以調整以滿足各種蝕刻物種的需要。M 511 AE能夠處理多種基材,包括金屬、聚合物、合金、陶瓷和金屬陶瓷。腔室寬大的4英寸進料孔徑使用戶能夠方便地以任何所需方向引入粗糙粒度的樣品材料,而不會損壞樣品表面。511AE的集成真空系統保證了在受控環境中的環境安全蝕刻。除了蝕刻和濺射功能外,HITACHI M 511AE還具有執行額外處理技術的能力,如滾珠銑削和脈沖電沈積。可調的循環時間和均勻的溫度控制進一步增強了裝置的靈活性,以確保可重復蝕刻的結果不會失真。使用可編程設置,HITACHI M 511 AE非常適合重復性過程,並以最高的精度和可重復性提供高質量的基板。M 511AE經過安全認證,設計符合行業安全標準。周到的設計特點,如故障安全關閉閥、堅固的模塊檢測系統和封閉式開關箱,旨在保護和保存精細樣品,確保工藝精度,並減少用戶受傷和設備損壞的可能性。M 511 AE是一種先進技術的蝕刻器/asher,非常適合用於發動機車間、微加工實驗室和研究設施。易於操作,加上卓越的性能,確保結果始終可靠準確。
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