二手 HITACHI M 511AE #9400299 待售
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ID: 9400299
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
(3) Cassettes / FOUP Position
SECS II Interface
Metal etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U)
Strip: EMCP Asher
Poly etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U), XT Chamber
Oxide etch: Microwave ECR (M), UHF ECR (U)
Signal lamp tower
No AGV
No OHT
ESC Monopolar
No TM Bias enhancement
EC Turbo molecular pump:
SEIKO SEIKI STP-H2001K2 Controller
DAIHEN ES7 EC Source generator
PEARL CF-500-400K EC Bias generator
(2) EDWARDS iQDP8 Loadlock pumps
EDWARDS iQDP80 Pumps
MYDAX 1VL5WB Chiller
Cooling channels
Gas configuration:
Ar / 300
Cl2 / 500
SF6 / 300
CF4 / 100
HBr / 200
Cl2 / 100
O2 / 40
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase.
HITACHI M 511AE是一種蝕刻器或瀝青劃刀，配有直流電動機，用於在混凝土、瀝青等表面雕刻和蝕刻印記。這種由電機驅動的機器在各種材料上進行校準和雕刻，用於標記或制作標誌。該工具采用電子速度控制系統，在執行精確尺寸的標記和蝕刻時具有更高的精度水平。速度可以從100次調整到12,000次/分鐘,自動反向（超速）控制系統有助於保持打印標記的精確長度。HITACHI M 511 AE的設計讓使用者可以使用深度調整旋鈕輕鬆改變行程深度。這個裝置使用齒輪開關來增加或減少深度達3毫米。為確保平穩、精確的操作，驅動這臺機器的電動機設計了一種減振機構，有助於最大限度地減少使用這臺機器時產生的噪音和振動。這臺機器配備了一個指示器，顯示各種電源設置和其他信息，包括凹槽的當前深度。此外，這臺機器有一個柔軟的表面外殼和一個內置的儲物袋作為附件。這臺機器的附件包括一套用於蝕刻的碳條、一個用於研磨的磨料橡膠輪和一個便於更換工具的卡盤。M 511AE是一種多用途的機器，可有效地在各種材料（從混凝土到瀝青等表面）上進行標記制作、開槽和雕刻。由於它的馬達被開發成可以使用廣泛的材料，它的速度和狀態設置可以很容易地針對不同的應用進行調整。圓滑的設計保證了機器易於儲存和使用，並附帶了幾個配件，用於各種蝕刻任務。
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