二手 HITACHI M-602 #9364269 待售
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HITACHI M-602是一種廣泛使用的蝕刻或灰化設備,設計用於在晶圓上執行蝕刻和灰化過程。它是一種用於生產半導體晶片的工具，用於蝕刻晶片表面不希望得到的材料層。M-602可用於制造一系列晶片,例如單晶矽和絕緣體（SOI）晶片上的矽。HITACHI M-602具有等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）室,能夠執行高速灰化過程。它配備了高效的射頻發生器，產生持久的等離子體放電。對PECVD腔室進行了優化，以創建一個經過修改的氣氛，以便於蝕刻和灰化過程。此外，PECVD腔室設有石英窗口，可以清晰觀察等離子體處理進度。M-602還有一個晶圓傳輸設備，可以將晶圓從PECVD腔室傳輸到分析系統或處理托盤。晶圓傳輸單元設計用於高精度晶圓定位，為用戶提供了精確蝕刻和ashing晶圓的能力。此外，HITACHI M-602還配備了自動背面處理機，提供晶圓背面的自動清洗過程。M-602提供了幾種操作模式，這些模式是為滿足不同類型晶圓加工的具體要求而量身定制的。它還帶有一個內置操作工具（OSI）,允許用戶調整和存儲蝕刻/灰化過程的參數。此外,HITACHI M-602還具有一系列診斷工具,包括離線監控資產、溫度/壓力傳感器和其他雜項安全/監控功能。總體而言,M-602是一種高級蝕刻/灰化設備,專為在晶圓上執行蝕刻和灰化過程而設計。它具有許多特性和功能,使其能夠促進高精度蝕刻和灰化過程。HITACHI M-602易於使用,可針對各種類型的晶片和應用進行定制。此外，M-602旨在提供可靠和高效的結果。
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