二手 HITACHI M 712 #9314719 待售

HITACHI M 712是一款蝕刻器/asher，非常適合廣泛的光刻、金屬化和半導體加工應用。該工具具有最先進的經濟和性能特點,包括高精度自動晶片對準、超高速吞吐量以及廣泛的沈積/蝕刻功能。微處理系統設計最大晶圓尺寸為8英寸，可實現高生產率和提高特征精度。該蝕刻器采用兩級機理，將自由離子反應性離子蝕刻與化學輔助蝕刻相結合，具有優異的蝕刻質量，不會產生電弧的不利影響。雙等離子體保證了緊密幾何形狀的更有效蝕刻，基板損傷更小，蝕刻更均勻。蝕刻器/asher還利用專利的分體式淋浴板、J-filt和真空集成實現超高蝕刻速度和吞吐量。分體式淋浴板有助於最大限度地減少遮罩不對準,並提供卓越的厚度控制.J歸檔技術最大限度地減少了蝕刻開發時間,並允許從邊緣進行蝕刻。真空集成緊密密封腔室，減少外界汙染。該系統帶有一個基於Windows的圖形用戶界面，允許對配方進行簡單的編程和監控。包括離子生成反饋和氣體流動狀態在內的集成控制功能提供了高通量的準確過程控制。此外,該工具還附帶了一個高級診斷程序,該程序可連續監控系統性能並提供數據記錄選項。此外，M 712集成了離子密度監測儀、溫度傳感器、壓力表、通過系統等多種安全功能。壓力傳感器報告腔內壓力變化，可用於檢測異常情況，而內置的安全特征則在異常情況下提供警告信號。這確保了安全和高效的過程。總體而言,HITACHI M 712是各種光刻、金屬化和半導體加工應用的理想蝕刻器/灰化器。其卓越的性能和安全特性使其成為重視質量和效率的用戶的絕佳選擇。