二手 HITACHI M 712E ECR #9172571 待售
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ID: 9172571
晶圓大小: 8"
Plasma etcher, 8"
Wafer loading module:
(3) Cassette load ports
Four-axes robot
Wafer centering unit: Notch alignment and centering
Fan filter unit
Buffer / Loadlock chamber:
Two-axes robot
Buffer turbo molecular pump
Man / Machine interface:
PC with Magnetic / Optical drive
LCD Display
Keyboard / Pointer
(2) ECR etch chambers
(2) Gas boxes
One per chamber: Ar, Cl2, SF6, HBr, CF4, CHF3, O2, spare
(2) Capacitance manometers
Penning gauge
Microwave power monitor / Auto tuner
Chamber temperature control module
Etch turbo molecular pump
Etch coil magnet: 3-Coil type
Coil cooling water flow sensors
Dual input endpoint detection system
Backside Helium cooling
(2) Power supply units - One per chamber
(2) EC Temperature controllers - One per chamber
Facility interface box
Transformer box
FFB Unit.
HITACHI M 712E ECR是為廣泛應用而設計的高級電化學蝕刻/沖洗（ECR）機器。該裝置體積小巧，易於操作，由於能夠快速準確地蝕刻/粉刷各種材料，因此提供了高質量的效果。機器利用獨特的多軸系統,包括主軸、進給軸和Y軸。X、Y和Z軸由伺服電動機提供動力，而主軸則自主運行。這臺機器能夠在從塑料和金屬到石材、陶瓷和玻璃的一系列材料上進行蝕刻/灰化。M 712E ECR提供可靠的精度和速度。該設備帶有一個板載內存,最多可容納5個作業,從而方便了作業召回和快速重復。這加上其高輸出直流電流使得機器能夠處理具有挑戰性的蝕刻/灰燼應用。它具有高電阻率的石英材料，可以輕松地達到專業水平的精確度，同時還有一個除塵罩，用於減少工作區域周圍的灰塵和碎屑。HITACHI M 712E ECR非常易於使用。它采用了具有7英寸觸摸屏顯示屏的直觀用戶友好界面,讓用戶輕松調整操作參數。該機還具有自動預置功能，以最小的操作員幹預確保最佳效果。它還向操作員提供實時反饋,確保他們能夠快速確認其結果的質量。M 712E ECR是一種經濟高效的機器，操作成本經濟。它提供三年有限保修,確保快速有效地處理任何問題,從而使用戶有信心以最小的停機時間操作計算機。總體而言,HITACHI M 712E ECR是用於蝕刻/灰燼應用的理想機器。其多軸系統和高輸出直流電流使其能夠快速準確地工作，而直觀的用戶界面和實時反饋為操作員提供了輕松的作業召回和結果確認。該設備經濟高效的運營成本和三年保修使其成為一項明智的投資,保證了最佳效果。
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