二手 HITACHI M 712E #293750871 待售
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ID: 293750871
優質的: 2000
Etcher
(3) Load ports
(2) Etch process Chambers
Buffer module
Transfer module
Process kit
EPD detector
SHIMADZU Turbos
HITACHI robot
EDWARDS IQDP dry pump
SMC Chiller
(7) Stick gas panel on each chamber
2000 vintage.
HITACHI M 712E是一種針對各種設備制造操作而設計的蝕刻器/asher。該設備是獨立於平臺的非接觸式設備，提供可靠和可重復的蝕刻工藝。該系統擅長各向異性蝕刻以及邊緣、觸點和通氣的精確修剪。該蝕刻設備支持廣泛的蝕刻工藝，包括氧化鋁、矽化物和移植物蝕刻。這確保了它是各種設備制造操作的理想工具。該設備采用了獲得專利的進給通路設計，可實現精確的蝕刻控制和快速的噴嘴更換。它還提供自動氣體測序，以確保最佳蝕刻性能和準確性。該單元允許背面通過蝕刻以及晶圓保護,從而在過程步驟中提供可靠的保護。其硬件設計由電子熱源、射頻發生器和氣體輸送機組成，確保溫度分布均勻，蝕刻產量高。除了提供出色的溫度控制和可重復性外，其強大的微處理器即使在具有挑戰性的條件下也能確保最佳性能和精確蝕刻。該工具支持多種容器幾何類型,包括最多六個蝕刻室,可靈活快速交換腔室。此外,它還具有多層工藝周期,使其能夠處理各種蝕刻動態和參數。結合資產的用戶友好界面，操作員可以直接監控參數以實現高效蝕刻過程。最後，它的光軸對準能力確保了更高的精度，最多有六個運動軸，允許精確的晶圓對準。總體而言,HITACHI M712E 蝕刻器/asher旨在為各種設備制造操作提供可靠、可重復的結果。它獲得專利的進給方式設計有利於生動的過程控制和快速的噴嘴更換。該模型還具有強大的微處理器、堅固的硬件元件和光軸對齊功能,使其能夠處理甚至具有挑戰性的條件和主題。它的用戶友好界面允許操作員直接監控參數以實現高效的蝕刻過程，而多層工藝周期則迎合廣泛的蝕刻動態。
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