二手 HITACHI M 712E #9008886 待售

HITACHI M 712E是一種蝕刻/灰化器,設計用於高精度和高速蝕刻和灰分材料,包括晶圓稀釋和殘渣去除。它具有高達6.5 mm2/min的高速精密蝕刻能力，采用先進的自適應等離子體發生器系統，可根據需要精確控制蝕刻和灰分速率。HITACHI M712E的底盤由鋼板增強鋼板組成， 確保設備的穩定性和耐用性,而其內部組件包括一套抽屜式抽水系統以及一臺100 kV/1250V頻率脈沖發生器,灰分時間範圍為0-60秒。它還包括一個電磁浴, Eme-ARM處理卡盤、兩個氣動缸組件和一個高真空氣體面板。M 712E其他有助於其卓越性能的特性和組件包括獨立的、高性能的天線、多級自動流量控制、自動改變大氣層電路以及獨立的兩級電極天線。用於過程監控的Ethernet/RS-485接口確保了系統的輕松操作和控制,全彩色液晶觸摸屏使用了易於理解和使用的直觀符號和字符,使用戶能夠以極高的精度和速度處理設備。M712E使用的真空參考技術進一步確保了opera-tors能夠準確監控工藝速率、溫度、氣流、壓力等參數。HITACHI M 712E的用戶界面旨在最大限度地提高處理效率，並允許對機器和材料特定的設置如批處理、面板、晶圓尺寸、蝕刻速率等進行配置。它還包括實時顯示晶圓狀態、工藝結果和詳細操作記錄的數據功能。該機器提供在線和離線操作,能夠進行多步驟處理,並且可以使用多種程序模式來滿足不同的處理要求。HITACHI M712E易於使用和安裝,旨在在運行過程中保持最高安全級別。它還符合一系列全球安全標準，並通過CE標記以及UL和RoHS等其他認證。