二手 HITACHI M 712E #9105848 待售

HITACHI M 712E 蝕刻器/asher是一種高精度的儀器，用於分析和沈積前的樣品處理。此蝕刻器/灰化器專為小或大樣品區域的蝕刻或灰化而設計,具有很高的精度、效率和安全性。蝕刻/灰化工藝用於去除材料表面的汙染物或修改表面特性並準備樣品進行分析。它具有免維護、全計算機控制的操作功能,能夠實時監控蝕刻/灰化過程和反饋控制系統,以獲得最佳效果。該單元配備了將所有相關組件集成到單個緊湊設備中的多合一設計。由精密樣品室、樣品加熱器、真空泵、蝕刻/灰噴嘴組成。該室由高級不銹鋼制成，包括用於氣密密封的不銹鋼襯裏和優越的隔熱材料。包括一個可調樣品支架，用於在進行過程時將樣品固定到位。樣品在精確的溫度下加熱以啟動蝕刻/灰化過程。真空泵用於排空腔室，去除氣相反應產物，創造低壓環境，有助於防止反應產物吸附到樣品表面上。通過打開蝕刻/灰燼噴嘴以在大氣壓下產生聚焦離子流來激活蝕刻/灰化過程。高速、聚焦的離子流有助於蝕刻或粉刷材料表面。可以調整蝕刻/灰分噴嘴，以提高蝕刻/灰分工藝的效率，減少反應時間。根據樣品的不同，氣流也可以與蝕刻/灰分噴嘴結合使用，或作為獨立的蝕刻/灰分工藝使用。HITACHI M712E 蝕刻器/asher適用於包括高通量研究、半導體和微電子器件制造、醫療器件制造表面調理等多種應用。該裝置設計為在高達200 ℃的高溫下運行,最大壓力為1 Torr,最大蝕刻/灰分速率為10 nm/min。M 712E具有直觀易用的界面,為蝕刻和灰化應用程序提供了高可靠性和高性能。它是為最佳的用戶安全和效率而設計的，並以較低的維護要求提供可靠的操作。