二手 HITACHI M 8170 XT #293774673 待售

HITACHI M 8170 XT是一款尖端蝕刻/asher設備，設計用於在先進制造環境中對半導體晶片進行高精度、高通量處理。這種先進的工具結合了創新技術和先進的功能,在半導體制造過程中提供卓越的性能和可靠性。HITACHI M 8170XT系統的核心是其雙模功能,使其能夠以卓越的精度和控制性能執行蝕刻和灰化過程。該機組配備了多種氣體註入通道、先進的等離子體生成技術以及高度可配置的腔室設計，為各種應用提供了廣泛的工藝能力。M8170 XT的一個主要特點是其先進的氣體輸送機，它確保精確控制工藝氣體的流速和比率，以達到預期的蝕刻或灰化效果。該工具能夠處理各種氣體，包括氟基、氯基和氧基氣體，從而在工藝開發和優化方面具有靈活性。HITACHI M8170 XT還配備了高度可配置的腔室設計，使定制的工藝條件和腔室幾何形狀能夠適應特定的工藝要求。該腔室采用雙模操作，有單獨的部分用於蝕刻和灰化過程，允許獨立的過程優化和控制。在等離子體生成方面，M 8170 XT利用先進的射頻（RF）等離子體技術在晶圓表面產生高密度、均勻的等離子體。這導致在蝕刻過程中對材料的有效和均勻去除，以及在灰化過程中有效去除光致抗蝕劑和其他有機殘留物。該資產因其先進的端點檢測功能而得到進一步增強,該功能可根據預定義的參數對蝕刻/灰化過程進行實時監視和控制。這確保了精確和可重復的結果，即使對於復雜和苛刻的工藝配方。M 8170XT采用用戶友好界面和軟件控制，便於操作和維護。該模型具有用於設備運行狀況檢查的全面診斷和監視工具,以及用於流程分析和優化的數據記錄和報告功能。總體而言,HITACHI M 8170 XT代表了最先進的蝕刻器/asher系統,為半導體處理應用程序提供卓越的性能、可靠性和靈活性。憑借其先進的功能和創新的技術,該設備非常適合各種先進的制造環境,在這些環境中,高精度和高通量是必不可少的要求。