二手 HITACHI M 8190 XT #293755402 待售

HITACHI M 8190 XT是一款高度先進的濕工藝蝕刻器，設計用於高精度制造，如半導體芯片生產。利用僅在M 8190 XT上可用的不對稱氣流，可以精確控制蝕刻過程，以獲得最佳蝕刻深度和形狀。HITACHI M 8190 XT也允許使用一件設備同時蝕刻多個基板。該機器具有一個獨立的、動態控制的加工室，在蝕刻過程開始之前將其泵送到低壓水平。將蝕刻氣體和其他化學物質引入腔室，然後由可編程氣體控制器精確調節。電源用於產生蝕刻所需的電壓和安培。M 8190 XT的電極配置允許為每個基板設置不同的蝕刻時間，為要求最苛刻的微加工應用提供最高水平的控制和精度。HITACHI M 8190 XT的電子設備在設計時考慮到了易於操作。包括彩色液晶觸摸屏,以便於設置和操作,同時使用直觀的界面輕松設置和存儲參數。M 8190 XT具有保護免受有害化學蒸氣危害的多種安全特性，如完全封閉的工藝室設計和三次過濾預清洗系統，其設計目的是在蝕刻過程開始之前從該室中除去任何微粒。本機附有多種與大多數標準基板相容的配件，如矽片、氧化鋁、氮化氙等。此外,HITACHI M 8190 XT的腔室設計用於優化氣流,從而能夠在低於傳統系統的壓力下進行蝕刻。總體而言，M 8190 XT是一款極其先進的蝕刻器，設計用於高精度微加工和高度控制的蝕刻工藝。HITACHI M 8190 XT具有可編程氣體控制器、直觀的觸摸屏顯示屏以及眾多安全和輔助功能,為蝕刻工藝提供了最高水平的性能。