二手 HITACHI SPC-500B #9386049 待售

HITACHI SPC-500B是一種真空蝕刻和灰化設備，可用於從樣品中精確蝕刻沈積的材料，而不會損壞細膩的材料。該系統采用蝕刻和灰化室以及真空泵的組合，以保證在蝕刻過程中的精度和精確度。SPC-500B能夠在350°C的溫度下蝕刻材料,並具有313 mm x 220 mm的可用樣品平臺,可用於以最小樣本量有效蝕刻電路板和組件。該單元本身具有強大的10 kW底部吸收式射頻源、GHF-8處理室、自動冷卻器、控制單元和真空泵。自下而上的射頻源工作頻率高達2 MHz,能夠蝕刻一維或多深度特征。GHF-8加工室由內壁襯砌的不銹鋼構成，以防止飛濺，並包括位於腔室頂部和底部的兩個加熱室。這些加熱室能夠提供高達350°C的等溫、均勻溫度。自動冷卻器是HITACHI SPC-500B的重要組成部分，用於將腔室溫度保持在所需的水平，以獲得最佳效果。此功能允許該工藝在受控溫度範圍內運行,從而提高了蝕刻和灰化工藝的精度。控制單元用於整體操作機器，確保過程能夠得到準確監控。這包括能夠調整蝕刻功率、溫度和工藝時間，讓用戶能夠準確控制蝕刻過程。最後，真空泵用於在蝕刻過程中保持腔室真空，允許使用低殘留、無殘留或混合殘留的應用進行蝕刻。總體而言,SPC-500B是一種高級蝕刻和灰化工具,可提供可靠、準確和精確驅動的結果。它在溫度控制的真空環境中運行,是需要精確蝕刻精細元件的工程師的理想工具。