二手 HITACHI U-722 #150986 待售

HITACHI U-722是一種用於制造半導體晶圓的蝕刻/asher設備。它是由等離子體源和法拉第籠組成的幹蝕刻系統。等離子體源由感應耦合等離子體和射頻放電模塊組成，法拉第籠是一種介電襯裏的外殼，用於保護晶片不直接暴露於等離子體。U-722有一個ICP源,能夠產生高達1,200 w的功率,並配備兩個400w和兩個800w感應耦合等離子體（ICP）源。等離子體是由氙氣、氫氣和氧氣的氣體混合物產生的。該等離子體由ICP等離子體源產生，並包含在法拉第籠中。然後將晶片暴露於產生化學蝕刻過程的等離子體中。此蝕刻過程將材料從晶圓表面移除,從而產生可用於創建復雜電路結構和組件的圖樣。HITACHI U-722是一個緊湊且易於使用的單元。該設備具有直觀的軟件，能夠精確控制蝕刻參數和射頻電源，可以調整以提供最佳蝕刻結果。它還包括用於數據存儲和操作的內置計算機。U-722適用於多種材料，包括矽、氧化矽、鎢、鈦和氮化鈦。也適用於4「至8」的晶圓尺寸，能夠達到高達10 nm/min的蝕刻速率。該機還具有廣泛的蝕刻參數，允許用戶實現「自圖案」蝕刻過程。HITACHI U-722具有出色的蝕刻能力，被認為是市場上最好的蝕刻系統之一。它被用於多個領域，包括制造集成電路、光電器件和電信元件。U-722可靠、堅固、經濟實惠,是全球許多半導體制造商的理想解決方案。