二手 HITACHI U-722 #9211147 待售

HITACHI U-722是一個雙區域,幹膜蝕刻器和asher.它專為半導體制造中使用的各種蝕刻和灰化工藝而設計。它最多利用兩個加工室從一個晶片蝕刻或灰分。該機器能夠實現各種蝕刻或灰化操作的高均勻性結果,如化學氣相沈積、等離子體增強型化學氣相沈積、光敏剝離、灰化和幹蝕刻。U-722結合了一個蝕刻系統和一個asher的能力。在蝕刻操作中，機器利用加熱的氧化物塗層參考板，根據客戶的要求進行精確的蝕刻。參考板和蝕刻中的晶片都接收射頻後沈積，而參考板則提供一個表面，使晶片在蝕刻過程中與板保持接觸。這提供了快速、高效、均勻的基材蝕刻。Asher還利用加熱的氧化物塗層參考板來實現基材的均勻灰化。HITACHI U-722的自動化也使它易於操作。它有一個內置的自動順序控制器，對每個工藝室進行溫度和壓力控制。該系統還易於使用圖形用戶界面進行監控，允許操作員實時監控流程。機器的精度是U-722的另一個關鍵特征.其蝕刻工藝和灰化工藝均具有精確的殘留氣體控制，具有較高的均勻性和良好的收率。它的離子源也被設計成在整個晶片表面由於其角度的噴嘴設計而賦予均勻的均勻性。該設計還為操作員提供了蝕刻或灰化過程的清晰視圖,確保所有操作都按照確切的規範執行。最後,HITACHI U-722設計用於可靠和低維護操作。該機配備了易於使用、使用壽命長的部件和密封的腔室結構，允許整個過程周期的正壓。由於更換零件的次數最少,因此提供了最小的停機時間。這使U-722成為可靠、可重復和經濟高效的蝕刻和灰化操作的理想選擇。