二手 INNOMAX Astro 1043 #293813083 待售

INNOMAX Astro 1043是一款高度專業化的蝕刻器/asher設備，專為半導體工業中的精密微加工工藝而設計。這種先進的設備提供了一系列功能和特性,使其成為研發設施以及大批量生產環境的理想選擇。Astro 1043的核心是一個精密的等離子體蝕刻室，利用氣體和射頻功率的組合，有選擇地從基板表面去除材料。這一過程對於在矽晶片和半導體制造中使用的其他類型的基板上創建復雜的圖樣、溝槽和結構至關重要。該系統采用高功率射頻發電機，提供創造和維持室內等離子體所需的能量。對等離子體參數（如氣體流速、壓力和溫度）的精確控制可確保整個基板表面均勻蝕刻。這種控制水平對於實現現代半導體制造過程所需的尺寸精度和可重復性至關重要。INNOMAX Astro 1043配備了一系列氣體輸送系統，允許用戶從各種蝕刻和灰化化學中進行選擇。這種靈活性使設備能夠適應不同的材料和工藝要求，使其適合廣泛的應用，包括光刻膠剝離、氧化物蝕刻和金屬圖案。機器先進的端點檢測能力進一步提高了性能和效率。通過實時監測關鍵工藝參數，如光發射信號或氣體流速，工具可以準確確定何時達到所需蝕刻深度或端點。此功能可最大程度地減少過度蝕刻,並確保以最高精度和產量處理基板。在吞吐量和自動化方面,Astro 1043專為實現最高的效率和生產力而設計。該資產具有負載鎖定機制，使基板能夠快速、輕松地進出腔室，減少循環時間，提高整體吞吐量。此外，該模型還可以與機器人處理設備集成在一起，以便對多個基板進行全自動處理，從而進一步簡化生產工作流程。系統的用戶友好界面和軟件控制單元為操作員提供了對流程參數和設置的直觀控制。可自定義的配方管理功能使用戶能夠輕松地針對不同的應用程序優化和復制流程,從而確保一致的結果並縮短設置時間。總體而言，INNOMAX Astro 1043代表了用於半導體蝕刻和灰化應用的最先進的解決方案。其先進的特性、精確控制和自動化能力使其成為尋求在半導體制造中達到最高性能和質量水平的研發和生產設施不可或缺的工具。