二手 INTELVAC Electron beam evaporation system #293809972 待售

INTELVAC電子束蒸發設備是一種高性能薄膜沈積工具，設計用於各種材料在基板上的精確均勻塗層。該系統利用電子束技術蒸發固體原料，並將其作為薄膜沈積在基板表面上。INTELVAC單元廣泛應用於半導體、光學、電子等行業，用於薄膜沈積、蝕刻、灰化等應用。電子束蒸發機的心臟是電子束源，它產生一個高能電子束，聚焦在一個含有源材料的熔爐上。當電子束與源材料相互作用時，它會使其汽化，產生一個指向底物的蒸氣通量。這種氣相沈積過程允許精確控制被沈積薄膜的沈積速率、厚度和組成。INTELVAC工具的一個關鍵特點是其先進的控制資產，它允許對沈積速率、底物溫度、真空壓力等沈積過程參數進行精確控制。這使使用者能夠以優異的薄膜品質和附著力達到高度均勻且可重現的薄膜塗層。該型號配備了高真空室，為薄膜沈積過程提供了清潔、無汙染的環境。腔室被抽空到超高真空水平，以盡量減少可能影響沈積薄膜質量的雜質的存在。此外，腔室還配備了石英晶體微量天平、薄膜厚度監測器等現場監控工具，確保沈積控制準確，過程實時監控。INTELVAC電子束蒸發設備是一種用途廣泛的工具，可容納多種沈積材料，包括金屬、氧化物、氮化物和其他薄膜應用常用的材料。該系統支持各種基板尺寸和形狀，允許靈活處理不同類型的基板。對於蝕刻和灰化應用，該單元可以配備反應性氣體入口系統和等離子體源等附加組件，以實現等離子體輔助過程。這允許從基板表面選擇性去除材料或修改基板表面特性以實現特定功能。總體而言，電子束蒸發機是一種功能強大、可靠的薄膜沈積、蝕刻和灰化應用工具，適用於廣泛的行業。其先進的特性、精確的控制能力和多功能性使其成為研究人員和行業專業人士的寶貴工具,他們希望以卓越的可重復性和可靠性實現高質量的薄膜塗層。