二手 INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 #293827895 待售
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ID: 293827895
晶圓大小: 4"
Plasma ashing system, 4"
Pump / Blower models: D30A
(8) Cryopump
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
Power supply.
INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813是一款尖端蝕刻/asher設備,為半導體制造等高科技產業提供先進的等離子體處理能力。該系統旨在為各種材料提供精確、均勻的等離子體蝕刻和灰化,具有高通量和重復性。它采用了最先進的技術和特點,以滿足現代制造工藝的苛刻要求。該裝置利用反應性離子蝕刻(RIE)工藝,以高精度和控制的方式從基板表面去除材料。它還提供了從基板表面去除光致抗蝕劑和其他有機汙染物的灰化能力。PN-1813設有多個氣體噴射口、射頻電源、溫度控制系統,根據具體應用要求量身定制等離子工藝參數。3000 PN-1813的主要特點之一是先進的真空機,確保了清潔穩定的加工環境。該工具配備了渦輪分子泵、低溫泵以及各種壓力表,以達到並保持最佳等離子體處理性能所需的真空水平。真空資產還包括一個負載鎖定室,用於有效的底物裝卸,而不會損害工藝室的真空條件。PN-1813模型由用戶友好界面控制,該界面允許操作員設置和監視流程參數、配方配置文件和實時數據反饋。該設備的軟件能夠精確控制氣體流量、射頻功率水平、工藝時間和其他關鍵參數,從而一致地實現所需的蝕刻和灰化結果。該軟件還包括診斷工具,用於故障排除和預防性維護,以最大程度地減少停機時間並最大限度地提高工作效率。在等離子體產生方面,INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813利用高頻射頻電源在工藝室內創造和維持等離子體。等離子體是通過對註入室內的氣體混合物施加射頻功率而產生的,從而形成與底物表面相互作用的反應性物質,有效地蝕刻或粉刷材料。該系統的電源設計用於在整個處理周期中提供穩定可靠的射頻功率,以實現一致的等離子體性能。該PN-1813采用高質量的材料和組件來構建,以確保生產環境中的長期可靠性和耐用性。該設備采用符合人體工程學的設計,易於維護訪問和可維護性,允許在需要時進行快速高效的故障排除和組件更換。INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION還提供全面的培訓計劃和技術支持服務,以幫助客戶最大限度地提高PN-1813機器的性能和正常運行時間。總之,3000 PN-1813 蝕刻器/asher工具代表了在半導體制造等先進工業中高精度等離子體加工應用的前沿解決方案。憑借其先進的技術、精確的控制能力和堅固的設計,PN-1813準備為各種材料和基材提供卓越的蝕刻和灰化性能,使其成為希望獲得高質量和可靠等離子處理結果的公司的理想選擇。
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