二手 IPEC PWS-200 #9005461 待售

ID: 9005461
Plasma etcher Precision wafer shaper Currently warehoused.
IPEC PWS-200蝕刻器/灰化器是一種用途廣泛、可靠的蝕刻和灰化設備,設計用於處理商業級基板,提供高精度的蝕刻和灰化工藝。PWS-200具有易於使用的界面和強大的工藝室,非常適合從新手到專業人員的任何人。IPEC PWS-200的最高溫度範圍為600°C(1,112 °F),壓力為20 Torr(2 mbar),最多可容納六個不同尺寸和基板的工件在工藝室內。此外,系統的熱板溫度是可調的,以確保適當的基板放置和均勻的加熱.PWS-200還提供多種工藝氣體選擇,包括氮氣、氙氣、氧氣、氫氣、氯氣、氟氣和氯化氫。工藝參數可通過直觀的液晶顯示屏實時調節,用戶可以輕松地在氣體和配方之間切換,以達到最大效率。此外,IPEC PWS-200還有一個集成的真空泵,用於工件的疏散,以便快速和方便地啟動時間。PWS-200配備了高質量的過程控制器,可確保精確的溫度、壓力和速度控制。工藝氣體的溫度和壓力是完全可調節的,速度可以調整以減少被蝕刻的面積。該單元還配備了高級軟件控制機器,可以方便地設置、操作和監控流程。該軟件還允許用戶快速加載配方和工藝參數,以實現快速高效的灰泥和蝕刻周期。總體而言,IPEC PWS-200 蝕刻器/asher是商業級底物和研發的理想解決方案。其強大的結構和先進的軟件功能為精密蝕刻和灰化應用提供了經濟高效的解決方案。它具有快速的處理時間、直觀的控制和真空功能,可確保每次都能提供可靠的結果。
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