二手 IPEC PWS-200 #9016268 待售
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IPEC PWS-200是一個蝕刻器/asher設計為卓越的性能和可重復性,同時保持簡單和安全的使用。該模型PWS-200由IPEC制造,由耐用不銹鋼制成,標配整體提升機構,便於基板裝卸。IPEC PWS-200具有高速性能,典型的蝕刻/灰分速率高達每分鐘350微米,可在濕法或幹法模式下進行濕法蝕刻或PECVD沈積。PWS-200腔室包括兩個氣體輸入裝置和兩個渦輪分子泵,可以使用各種各樣的工藝參數。該設備設計用於處理直徑可達200毫米的多種基材尺寸,可與多種基材搭配使用,包括金屬、陶瓷和聚合物。IPEC PWS-200是一個完全自動化的流程模塊,允許用戶為給定的流程周期編程多達50個參數。系統附帶一臺集成計算機,其中包含菜單驅動的程序接口。這允許從簡單圖形用戶界面(GUI)控制所有進程參數。PWS-200還配備了一個多功能分析單元,其中包括一個數字信號處理器(DSP)和三個過程控制選項。這些選項包括手動調氣、輔助調氣和自動調氣模式。IPEC PWS-200具有廣泛的自動安全功能,確保安全可靠的運行。它包括一個緊急停止開關和帶有特殊按鍵的鍵盤,以防止未經授權的訪問。為了額外的安全,該機配備了電壓監測機,可以感知操作過程中發生的任何危險波動。PWS-200是一個可靠和高效的蝕刻器/asher,提供卓越的可重復性和精確度。憑借其易於使用的設計和安全特性,它是廣泛的科學和工業應用的理想工具。
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