二手 JESAGI JSPCS-600G #293635086 待售

JESAGI JSPCS-600G蝕刻設備是需要高精度蝕刻和高分辨率光刻剝離的應用的理想解決方案。該系統配備了高性能、直流電（DC）濺射源。適合蝕刻多種材料，包括鋁、銅、玻璃、不銹鋼等。該單元還提供了出色的光阻剝離能力。JSPCS-600G采用4室設計，每一室都有獨立的工藝室和壓板。該工藝室可容納直徑不超過8英寸的各種晶片和基材。它設計有一個用於蝕刻的離子源，一個用於蝕刻的燈絲，以及一個用於光致抗蝕劑剝離的射頻等離子體發生器。6-NC塔可精確控制蝕刻速率、選擇性和蝕刻深度,從而對蝕刻結果進行微調。此外，該機還具有高效、真空覆蓋、高通量的晶片載體和真空晶片夾緊機構，可容納多達20個晶片。該工具包括自己的工藝控制軟件，它被編程為優化蝕刻和光刻剝離時間和結果。軟件有幾個預定義的控制參數,以及自定義蝕刻過程的能力。該資產利用用戶友好的圖形用戶界面（GUI）輕松訪問和修改控制參數。JESAGI JSPCS-600G具有高級傳感器包,可實時監視過程參數。這樣可以確保最大程度的蝕刻和光刻剝離性能,並具有一致的最終結果。該模型還支持過程自動化，具有完全可編程和可定制的參數。JSPCS-600G附帶全面的現場用戶培訓和維護包,以及備件可用性。綜上所述，JESAGI JSPCS-600G是各種復雜程度的蝕刻和光刻剝離應用的理想解決方案。其先進的4室設計、高精度直流濺射源、高效的晶圓載波，使其成為可靠易用的設備。其直觀的過程控制軟件，帶有可定制的蝕刻和剝離過程，為用戶提供了對蝕刻和光刻剝離過程的完全控制。該系統的高級傳感器包確保了一致的最終結果和最低的維護要求。