二手 JESAGI JSPCS-750 #9253518 待售

JESAGI JSPCS-750是一種最先進的蝕刻器/asher,具有先進的多光束技術和精確的工藝控制。該系統被封裝在真空室中，具有FOUP裝載機隔離功能，可提供出色的重復性和精確的薄膜效果。JSPCS-750是先進的納米加工工藝的理想選擇，可實現低批量生產，循環時間為每晶圓20秒。JESAGI JSPCS-750能夠在整個晶片中產生無顆粒、低粗糙度和均勻性的最高質量的蝕刻和灰化結果。它具有多波束同時運行的特點，是一個過程中多種應用的理想選擇。多梁技術還提供了低成本的操作和最小的維護。為支持可靠性和長期性能,JSPCS-750配備了大量的傳感器和自動反饋算法,以控制均勻性和蝕刻質量。JESAGI JSPCS-750配備了一系列高級蝕刻和灰化功能。其先進的惰性蝕刻技術支持多種氣體，使其能夠在低密度損傷下達到高蝕刻速率。反應室也能夠達到290°C至800°C之間的溫度，創造出廣泛的薄膜厚度範圍。腔室還設有一個集成的基板冷卻器，用於快速冷卻後的過程。此外,JSPCS-750還具有一個清潔周期,以提高流程的可重復性。這種清潔循環非常適合半導體應用。其低O2氣體消耗降低了集成運營成本。集成了FOUP加載的自動化提供了快速高效的吞吐量。該系統還包括一個直觀的觸摸屏界面和一個大的圖形顯示。JESAGI JPSCS-750是一種高端蝕刻器/asher,可在廣泛的過程中提供卓越的結果。其先進的多束技術、精密工藝控制、集成自動化和直觀的用戶界面，使其成為先進納米加工應用的理想選擇。