二手 KASHIYAMA MU600X-005 #293642216 待售

KASHIYAMA MU600X-005是一種用於微電子制造的蝕刻/asher設備。它為各種材料中的蝕刻/灰化提供了高精度、精確度和靈活性。它是一個完全模塊化的系統,允許自定義配置以匹配任務特定的要求。該單元包括四個基本組件：一個蝕刻/灰化室、一個蝕刻/灰化槍、一個廢物處理轉移口和一個控制器。蝕刻/灰化室設計用於產生超清潔的高溫環境。它具有創新、集成的線性「極性」機器，可以優化工藝效率和精度。該室還提供各種溫度/壓力設置以及全自動監控功能。由此產生的高質量蝕刻/灰燼始終準確且可重復。蝕刻/灰化槍設計為與腔室配合工作，以確保高度精確和可重復的蝕刻/灰燼。它是可調的，以適應各種基板尺寸，和槍提供了廣泛的噴嘴角度和壓力。該槍還包括一個可編程的驅動工具，以便於調整工藝參數。廢物處置轉移口是從蝕刻/灰化室轉移廢物的一個獨特特點。它確保有效和安全的廢物管理，因為其復雜的多階段過濾資產捕獲顆粒，防止任何蝕刻/灰化殘留物在蝕刻/灰化過程中重新循環。最後，控制器提供對蝕刻/ashing過程的完全控制，允許用戶快速輕松地調整設置以獲得所需的蝕刻/灰燼。它采用全彩色數字觸摸屏,使用戶能夠輕松監控和配置蝕刻/灰度參數。MU600X-005是微電子生產中各種蝕刻/灰化任務的理想解決方案。其精密的腔室設計和精密的蝕刻/沖刷槍讓用戶每次都能獲得超精密、可重復的結果。此外，它的模塊化設計、集成過濾以及先進的控制器使其高效易用。