二手 KC TECH KCT-W300S #293757182 待售
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ID: 293757182
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
PR Stripper, 12"
Process flow: SPM / BOE / SC1
2009 vintage.
KC TECH KCT-W300S是為半導體、MEMS、LED等微電子行業內的精密優質基板加工而設計的一種精密創新的蝕刻器/asher設備。這款先進的設備結合了等離子體蝕刻和灰化功能,為廣泛的應用提供了一個通用、高效的解決方案,包括晶圓清洗、降序、抗剝離和圖樣傳輸。KCT-W300S采用緊湊、符合人體工程學的設計,配備了最先進的技術和先進的功能,可提供精確可靠的處理結果。該系統包括高性能射頻等離子體發生器、自動壓力控制單元、溫度控制模塊以及方便操作和監控的人性化界面。KC TECH KCT-W300S的關鍵亮點之一是它的雙模操作,允許用戶在蝕刻和灰化過程之間無縫切換。這種靈活性使機器能夠處理各種類型的基材和材料,包括矽、二氧化矽、金屬、聚合物等等。蝕刻過程涉及使用化學反應性等離子體從基板表面去除材料,而灰化過程則用於剝離有機材料和汙染物。KCT-W300S工具提供一系列工藝參數調整,如氣體流速、壓力水平、功率設置和工藝時間,以根據特定的應用要求調整加工條件。這些參數的精確控制確保了在多個基板上的均勻和可重現的結果,從而提高了工藝效率和產量。此外,KC TECH KCT-W300S還配備了先進的安全功能,在操作過程中保護操作員和設備。這些包括泄漏檢測傳感器、超壓保護機制、聯鎖系統和緊急關閉功能,以防止事故和確保安全的工作環境。在性能方面,KCT-W300S憑借先進的等離子體技術和優化的腔室設計,提供了較高的通量和過程均勻性。該資產能夠實現高蝕刻和灰化率,從而加快處理時間,提高半導體制造和研究應用的生產率。此外,KC TECH KCT-W300S設計方便維護和維修,具有可訪問的組件和模塊化設計,可快速無憂地更換消耗性部件。這有助於最大限度地減少停機時間,並確保模型始終保持運行狀態,從而提高總體設備效率和成本節約。總體而言,KCT-W300S 蝕刻器/asher設備是一種用於要求苛刻的微電子處理應用程序的前沿解決方案,在緊湊且用戶友好的封裝中提供卓越的性能、靈活性和效率。憑借其先進的特性和功能,此設備非常適合精確度、可靠性和高工藝質量至關重要的研究和生產環境。
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