二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200 #293763330 待售

KEM/KOKUSAI Lambda 200 蝕刻器/asher是一種精密蝕刻和灰化設備,設計用於多種領域,特別是集成電路制造和微細制造。該系統利用氧氣反應性蝕刻和灰分金屬，陶瓷，和矽材料。KEM Lambda 200設計具有一系列蝕刻和灰化功能,並具有多種設計選項。基本單元包括蝕刻室和匹配的灰化室。這些腔室通過載荷鎖連接，使得基板從一個腔室轉移到另一個腔室是有效和可追蹤的。蝕刻室包含一個直流電源,具有1至25 mA的外部可控脈沖功能。這允許用戶通過高速率調整反應性來精確控制蝕刻並提供改進的選擇性。高速率降低了結構拐角處線變窄的影響。此外,電源還提供可調參數範圍高達4V的直流偏置。這種偏差有助於實現不同的蝕刻過程。蝕刻室有四級渦輪分子真空機，並以直驅電動機為後盾，高通量。此外，該腔室有一個用於基板平移的線性運動階段和一個用於現場觀察蝕刻過程的光學端口。灰化室與氧氣灰化工具耦合。該資產有三個獨立的氣閥，允許獨立調整和組合以獲得最佳結果。另外還可以使用氮氣、氫氣、氙氣和CO2等多種氣體來控制蝕刻或灰化過程。該模型采用易於使用的自動測序設計，整個過程可以通過連接的計算機進行設置。這使得設備非常高效。還可以記錄和存儲有關該過程的所有數據以進行歷史分析。KOKUSAI Lambda 200是一種可靠可靠的蝕刻和灰化系統,可提供可重復和可靠的結果,可用於多種應用。除其他功能外,這使其成為各種蝕刻和灰化任務的絕佳選擇。