二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643016 待售

KEM / KOKUSAI Lambda 200C
ID: 293643016
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Asher, 8" 2001 vintage.
KEM/KOKUSAI Lambda 200C是一種用於微電路制造和半導體研發的等離子體蝕刻器/asher。這款先進的蝕刻器/asher配備了高真空室,容量可達200瓦。半徑為24英寸的機器能夠快速蝕刻或粉刷中小型部件。KEM Lambda 200C配備了兩個獨立的200瓦等離子體發電機電源,使其具有持續穩定運行的高度可靠性。此外,它具有緊湊的設計,較低的噪音輸出和無振動操作,因此它可以被放置在一個煙霧罩或實驗室。它的腔室由前室和主蝕刻腔室組成,並有一個安全的單點專用渦輪分子泵。KOKUSAI Lambda 200C的蝕刻和ashing特性也優於其他蝕刻器/ashers。蝕刻功能利用低溫等離子體,可以通過電介質、金屬和各種材料蝕刻而不會產生明顯熱量。機器的灰化過程使用活化的氧基去除了光致抗蝕劑,使層基板不受影響。在控制方面,Lambda 200 C具有直觀的觸摸屏圖形用戶界面和內存容量,用戶友好。蝕刻器/asher最多可以存儲99種工藝配方,這些配方可以編輯、復制和保存。此外,這種模式既有手動操作模式,也有編程操作模式,使操作更加容易和高效。總體而言,KEM/KOKUSAI Lambda 200C是一款高級蝕刻器/Asher,旨在為各種材料提供精確、一致的蝕刻和灰化結果。憑借直觀的用戶界面、高真空室和擴展的等離子體發電機電源,是研發、量產的理想選擇。
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