二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643017 待售

KEM/KOKUSAI Lambda 200C是一款蝕刻器/asher,非常適合廣泛的應用,包括半導體和平板材料。這臺機器使用高壓和電流來蝕刻或粉刷從矽到玻璃的各種材料。KEM Lambda 200C利用基板支架、等離子體腔和過程控制單元來控制過程參數。控制單元使操作員能夠通過對射頻功率水平、頻率和偏差進行微調來精確控制過程。基板支架能夠容納厚度可達8英寸（20厘米）且溫度低至-60oC（-75oF）的基板。可以使用各種支架配置來支持各種基材和尺寸。等離子體室由一個帶有水冷室頭和電極的不銹鋼室和一個真空密封石英窗組成。它設計用於低溫工藝氣體，使基板比其他工藝暴露於更高的溫度。過程控制單元直觀、人性化，允許輕松選擇射頻功率、頻率、偏置和氣流等參數。它還允許操作員調整工藝參數以獲得所需的結果。過程控制單元還能夠自動報告,從而允許操作員存儲數據並監控其蝕刻/灰燼過程的結果。KOKUSAI Lambda 200 C能夠清理多達4英寸（10厘米）的基板，並且可以定制以適應大多數半導體和平板材料的規格。Lambda 200 C具有直觀的界面和內置的安全功能,是任何蝕刻/灰化過程的理想解決方案。