二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200IE #188566 待售

KEM/KOKUSAI Lambda 200IE是一種蝕刻器和asher，設計用於處理各種半導體晶圓。該設備采用LAM-5000技術將電子輸送到晶圓表面。KEM Lambda 200IE由可容納多達8個基板的兩件式負載鎖系統組成。自動卡帶連接到射頻發生器、離子源、磁控管電源和真空裝置。KOKUSAI Lambda 200IE配備了大功率射頻發電機和自動匹配，允許精確控制蝕刻速率和均勻性。可變載荷鎖定方法可以適應多個晶圓尺寸和材料。此外,使用磁控管電源可以精確控制蝕刻和灰化時間、溫度和壓力。該機具有易於操作的圖形用戶界面和多個處理室。兩個獨立的腔室專用於幹式和濕式蝕刻。幹蝕刻室裝有Ar和N2，用於蝕刻和減法幹蝕刻，如SF6。濕蝕刻室裝有溫度範圍為攝氏0-50度的DI-water。通過精確控制溫度和壓力，實現了高質量的保形層蝕刻。Lambda 200IE還具有適合各種產品應用的多種配置。例如,通過添加RIE/RIEC適配器,該工具可用於深度蝕刻。方便探針顯微鏡可用於樣品結構和均勻性的目視檢查。KEM/KOKUSAI Lambda 200IE是一種可靠、通用的半導體晶圓加工工具。此資產通過易於使用的配置提供了對許多流程變量的精確控制。兩個專用腔室提供蝕刻和灰化能力，同時還具有溫度和壓力控制的高質量保形層蝕刻。