二手 LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 #9143213 待售

LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104是一種主要為半導體制造而設計的蝕刻器/asher。這種設備是一種功能齊全的高速生產工具，能夠在各種基於等離子體的過程中持續運行。它被設計為在深層反應性離子蝕刻（DRIE）模式和淺層溝槽形成（STF）模式下運行，廣泛的應用包括鋁、銅、二氧化矽和有機材料的蝕刻。12123-1-D-00162104 蝕刻器/asher具有20 「x 15」大小的工藝室,允許同時進行多種不同的蝕刻和研磨過程。腔室配有直接驅動電動機，提供精確的氣流，提供優異的效果和可重復的效果。它具有用於配置最佳工藝參數的高級工藝控制器，設計為與現有生產操作兼容。LAM RESEARCH/Etcher/Asher采用雙通道設計進行高效處理,可在單個通道內實現高速蝕刻和下遊灰化。LAM Research 12123-1-D-00162104 Etcher/Asher的設計旨在提供卓越的蝕刻均勻性,從而提高生產效率和質量。它能夠控制晶片和蝕刻面罩上的蝕刻速率，提供關鍵層的精確蝕刻。它還有一個先進的氣體分配系統，平均分配氣體，以幫助確保均勻薄膜圖案特征。這樣可以確保層間均勻沈積,從而在生產中實現穩定的運行和可靠性。該裝置配有報警系統，提供溫度和壓力監控報警。它還具有先進的診斷功能,可幫助檢測工藝室中的任何潛在問題。LAM RESEARCH 12123 蝕刻器/asher可以無縫集成到現有生產線中，其高級功能可以被利用來提供廣泛的高效和經濟高效的處理能力。