二手 LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX #9237727 待售

LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX是一款功能強大的多功能蝕刻器和asher,設計用於處理多種材料。該設備采用了LAM的自動端點檢測（AED）技術,提供精確的結果控制,同時還提供了光束和配方參數的最高靈活性。該系統提供四個獨立的抗蝕源,以獲得更高效、更準確的結果以及多晶片處理功能。該單元提供對蝕刻深度、蝕刻速率、蝕刻面積和加工參數的可重復性的精確控制，以及出色的均勻性。該蝕刻和asher工具是為多重運行速率和處理速度優化而構建的。它具有兩個獨立的反應室，一個用於樣品材料去除的電子束單元，以及可以一次卸載和加載多個晶片的鎖載構型。該機還具有嚴密的溫度和壓力控制，以及一系列的化學氣體，以符合用戶定義的要求。2300 e4 Flex EX還提供具有廣泛光束電流的柔性光束配置，允許更高的吞吐量和更厚的薄膜。該工具還提供了多種可配置的功能,如自動端點檢測（AED）、自動級別分析（ALP）、可編程配方清理例程以及各種傳感器接口,以優化蝕刻和灰化過程。此外，該單元還配備了陶瓷襯裏，用於長期清潔室操作。該資產的界面用戶友好且易於使用,可實現快速準確的參數重置。此外，該工具還配備了實時監控模型，有助於跟蹤每個晶圓運行的進度。該設備包括一個用於快速創建配方的板載配方發生器，內置氣體管理功能有助於監測氣體的使用情況。此外,LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX還提供了一個RFID讀取器,用於跟蹤過程數據。這種高效可靠的蝕刻和asher工具非常適合短期內需要最佳性能的用戶。它提供了高效的晶圓吞吐量、均勻性和準確的結果,用戶幹預最少。其先進的特性使其成為各種應用的合適選擇，包括半導體、MEMS、醫療和LED器件制造。