二手 LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9172842 待售

LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo 蝕刻器/asher是一款功能強大、緊湊的設備,專為高通量應用而設計,需要精確的蝕刻、灰化和其他材料處理。它提供單步蝕刻和灰化以及蝕刻/灰化組合,可減少循環時間,同時確保一致性。該系統具有可調節的晶片到基板距離、增強的氣體能力、增加吞吐量和正常運行時間的「海鷗翼」噴嘴設計,以及一套用於快速故障排除的內置循環診斷程序。這臺機器還配備了兩個集成的工藝室，每個室能夠同時使用多達八個晶片，從而實現每小時的最大任務。通過這種配置，2300 e5 Kiyo 蝕刻器/asher可以在等離子體蝕刻、等離子體灰化、暴露矽蝕刻和暴露表面氧化物蝕刻模式下運行。該裝置還可用於高端熱氧化和CVD工藝----利用氮、一氧化二氮、氧氣、氦氣和其他氣體----並能夠達到高達1150攝氏度的工藝溫度。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo 蝕刻器/asher具有精密加工的金屬氧化物硬化技術,可延長產品壽命,提高晶圓邊緣的保持力。硬化表面還提高了安全性，因為它的設計可以防止放電問題。這臺機器具有可自定義的控制界面以及直觀的圖形用戶界面（GUI）和自我診斷功能。GUI顯示實時計算機條件,並允許用戶執行各種即時配方調整以獲得最佳效果。這臺機器由堅固的材料構成,以確保最大的正常運行時間和可靠性,並且可以集成到任何環境中,包括手動、半自動和全自動。一系列全面的選項和即插即用組件可輕松為任何流程或應用程序定制工具。它的設計還便於維護,並且可以通過其他部件和附件進行擴展,例如在處理過程中控制耗材和硬件的集成自動診斷算法。此外，2300 e5 Kiyo 蝕刻/asher符合環境和健康標準。