二手 LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9409252 待售
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單擊可縮放
ID: 9409252
Poly etchers
Cassette, 12"
Chambers:
(2) KIYO45
(2) KIYO EX
Stripper
Platform type: E5
EFEM:
(3) TDK TAS300 Loadport, P/N: S2096-76
KAWASAKI 3NT510B-A002 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION 799-058309-003 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION 196635 TM Robot, P/N: 401600-594-0001
EDWARD EPX180N IPump, P/N: A419-42-212
(5) GE 605-109114-001 CPUs
(5) 605-707109-012 VIOPs
(5) ENGENUITY 810-046015-009
(2) 853-031727-007 Temperature control units
(4) 810-495659-304 ESC Power supplies
(4) 685-801852-015 OES
VoDM
MKS Revolution III remote plasma source, P/N: 685-045803R034
(4) ESC, P/N: 839-019090-374
Gas configuration:
Gas box type: IGS
(18) Gas lines
MFC:
HORIBA SEC-Z719MGX
HORIBA SEC2719JX
HORIBA D219-SCT
SAM 2480G1
(3) MKS He UPCs
Strip gas:
(3) HORIBA SEC-Z719MGX
Vacuum gauge:
(3) MKS E58B-31775 Process vacuum gauges, 0.1 Torr
(3) MKS E28B-30200 Chamber vacuum gauges, 1 Torr
(2) MKS B28D-30518 Fore line vacuum gauges, 10 Torr
MKS 28PS0063 TM Vacuum gauge, P/N: 109070019CE
MKS 901P-81050-0070 Airkock1 vacuum gauge
MKS 901P-81050-0070 Airlock2 vacuum gauge
ACATEL ATH2800M Turbo pump
ACATEL Mag Power Turbo pump controller
(2) EDWARD STP-XA2703CV Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1600 Turbo pump controllers
BIAS RF Generator, P/N: 660-063437R003
TCP RF Generator
(2) BIAS RF Generators
(2) TCP RF Generators, P/N: 660-088888-002
(4) BIAS RF Matchers, P/N: 832-038915-001
(4) TCP RF Matchers, P/N: 835-043759-004
(4) BIAS RF Cables
(4) TCP RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo是專門為包括矽片在內的器件基板的超低溫處理而設計的先進蝕刻和灰燼工具。利用先進的等離子體物理和設備工程，2300 e5 Kiyo能夠在蝕刻和灰化過程中達到低於10攝氏度的溫度。這樣可以更精確地控制蝕刻結果,從而使設備設計人員能夠在制造之前更準確地建模和預測基板故障。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo結合了多種不同的技術來創建精確的蝕刻。它結合了氣體和等離子體輸送系統，可以精確控制工藝環境，確保基板的材料性能不被改變。2300 e5 Kiyo利用獨特的高頻線性等離子體源在其源點產生高能離子轟擊，提供了極高純度和精確度的蝕刻和灰燼。而且，LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo的高級編程能力使得它相當通用，使得它可以在包括蝕刻、灰化、沈積和金屬化等廣泛的過程中使用。2300 e5 Kiyo還具有多種安全功能,包括在超壓情況下自動關閉氣體,在超流情況下自動關閉氣體,以及集成的壓力監控系統,以確保在整個制造過程中始終監控過程環境。除了令人印象深刻的處理能力外，LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo還能夠通過利用先進的機器人技術來降低成本和提高生產率，從而實現連續的不間斷批處理。此功能使用戶能夠在更短的時間內處理更多的設備,從而提高產量並加快周轉時間。總體而言,2300 e5 Kiyo是一款先進的蝕刻器和asher,其設計目的是在一系列超低溫過程中提供極其精確的結果。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo通過其先進的等離子體物理、設備工程和機器人技術的結合，是設備加工和制造的強大而可靠的工具。
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