二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9015441 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款先進的蝕刻器,主要用於半導體行業。它旨在提供微小特征的精確蝕刻和灰度處理,並在整個過程中實現自動化的工具控制和精確的一致性。Exelan Flex 45具有解決各種基材和工藝的靈活性,例如高縱橫比特性、晶圓變薄和45度角度蝕刻應用。Exelan Flex 45的工具封閉式體系結構將平臺和過程硬件與一系列真空泵、負載鎖和源模塊集成在一起,可靈活調整過程以獲得所需的結果。此級別的集成硬件提高了流程精度,降低了操作成本,並確保了快速的晶圓吞吐量。蝕刻器/asher由嵌入式過程控制器控制，使操作員能夠使用圖形用戶界面實時監控每個蝕刻過程。嵌入式流程控制還允許預先編程的配方設置和流程控制,並在每次運行蝕刻配方時提供準確、可重復的流程。Exelan Flex 45還采用了先進的蝕刻室設計,可提高均勻性,在此過程中改善晶圓清潔,並有助於最大程度地減少交叉汙染。全平臺真空結構有助於最大限度地減少微粒侵入，減少貴重鹵化蝕刻劑的損失。蝕刻器/asher還配備了多種安全功能，如緊急關閉開關、可聽警報和防止意外暴露於高溫或化學蒸氣的封閉架構系統。這些功能確保操作員和旁觀者在操作過程中保持安全。2300 Exelan Flex 45是那些尋求頂級精確度和可重復性的人的理想蝕刻器/asher。利用集成的蝕刻室設計和自動化的工具控制，用戶可以相信每次蝕刻都會產生準確的結果。此外，通過一系列安全功能，用戶可以確信他們的操作員和旁觀者是安全的。