二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9252457 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款蝕刻器/asher,在當今高度集成的下一代設備制造過程中提供卓越的性能和穩定性。此型號的蝕刻器/asher能夠以最高的精度和精確度處理直徑達45英寸的大型基板。2300 Exelan Flex采用先進的源室構建,可配置用於各種過程,如濕蝕刻、幹蝕刻、抗蝕條、灰化和嵌入蝕刻。該室采用雙區熱控制，以確保均勻和一致的蝕刻吞吐量，並配備全自動裝卸設備，以便進行高效處理。腔室還包含用於高效蝕刻的高斯光子束源，確保過程時間減少，蝕刻速率最大化。2300 Exelan Flex還具有多種工藝控制功能,可實現準確可靠的蝕刻和灰化。這包括射頻和直流功率控制、壓力控制、基板偏置和均勻溫度控制。此高級系統還具有過程監視單元,可確保以準確和一致的方式執行蝕刻或灰化過程。2300 Exelan Flex還包括一臺自動對齊機，用於將晶片定位在壓板上。此工具無需任何手動幹預即可實現小於5 µm的對準精度。此外，它的壓力控制資產確保在蝕刻或灰化過程中均勻的壓力傳遞在晶片上。2300 Exelan Flex還包括了一些先進的安全措施，如雙隔離互鎖模型，以確保蝕刻過程的安全性和準確性。它還有一個警報監控設備，在過程發生變化時發出可聽的警告信號，這樣操作員就可以快速評估並相應調整系統。最後,它的遠程服務功能使蝕刻器/asher易於維護。總而言之,2300 Exelan Flex 45是一款功能強大的蝕刻器/asher,可為下一代設備制造過程提供卓越的性能和穩定性。其先進的特點和安全措施以安全、高效和經濟高效的方式確保準確可靠的蝕刻和灰化效果。