二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292907 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45
ID: 9292907
晶圓大小: 12"
Dielectric etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款獨特的蝕刻器/asher,專為滿足現代設備制造和半導體生產的需要而設計。它是一種全自動設備,具有集成的工藝控制,廣泛的蝕刻參數和高蝕刻速度。該系統適用於單面和多面蝕刻工藝,提供高質量、經濟高效的解決方案。LAM 2300 Exelan Flex 45利用先進的基板運動單元(SMS)在整個蝕刻過程中精確移動基板。基板被放置在密封室中,在密封室中對工藝參數進行精確控制和監控。集成的過程控制可確保高度的可重復性和一致性。該機具有廣泛的工藝參數,可根據各種具體應用要求進行調整。這些參數包括溫度、壓力、流量、氣體類型等.大部分蝕刻工藝參數都是可調的,允許很大程度的靈活性。這可用於優化生產產量,也可微調特定應用的蝕刻過程。此外,還可以采用復雜的晶圓映射技術,進一步提高產品的生產率和可重復性。智能過程控制功能還提供高效的過程結果實時監控和分析。LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45開發時考慮到了現代的清潔空間。它將用戶的便利和安全與動力和精度相結合。該工具配備了一個用戶友好的、高度圖形化的操作員界面,允許遠程監控和控制流程參數。該資產甚至包括內置的遠程診斷功能,允許遠程診斷任何技術問題。LAM 2300 Exelan Flex 45可靠一致的蝕刻質量非常適合設備生產和半導體制造。LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45具有廣泛的可自定義參數、高蝕刻速率、集成的過程控制和強大的診斷模型,為經濟高效的蝕刻應用提供了無與倫比的解決方案。
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