二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292910 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款蝕刻器/asher,具有一個帶直接驅動Turbo@@-Molecular Pump組件的On-Axis加工室。此蝕刻器/asher提供了對蝕刻過程的高速和精確控制,並具有較低的停機時間和過程可變性。On-Axis加工室設計在晶圓的所有區域同時提供均勻且可重復的等離子體蝕刻，從而實現高通量和精確的等離子體均勻性。該腔室還可直接驅動Turbo-Molecular Pump組件,從而提高了泵送效率,並大大降低了維護要求。此蝕刻器/asher允許進行多晶矽蝕刻,並且On-Axis處理室具有可調節的特性,以便於對蝕刻過程進行微調。Exelan Flex 45強大的發電機提供了對主要蝕刻參數的精確控制,如蝕刻功率、頻率和工藝壓力。發電機還包含一個具有「封閉」環形磁體的高純度遠程等離子體源（RPS），可用於選擇性蝕刻化合物和材料。該蝕刻器還包括廣泛的安全功能，包括數據記錄和監測系統，以確保最大標稱壓力和腔室溫度。此外,Exelan Flex 45的閉環系統調節技術確保蝕刻參數保持在最佳水平,從而提高了晶圓的均勻性、生產率和可靠性。此外,Exelan Flex 45還具有廣泛的應用程序,可用於各種蝕刻工藝。可用於各種蝕刻，如化學深蝕刻、接觸蝕刻、離子銑削、反應性離子蝕刻、灰化、放電室蝕刻等。該蝕刻器/asher還設計了高達450°C的高溫能力和專用的局部排氣系統，可以去除臭氧、氧氣、氮氣等有害的工藝副產品。Exelan Flex 45可與多種氣體兼容，其中包括的有氙氣、氦氣、氫氣和氮氣，並且能夠為其應用處理少量和大量的氣體。Exelan Flex 45是一款高效且用途廣泛的蝕刻器/asher,可提供可重復的等離子體蝕刻和灰化結果。其軸上加工室設計和閉環系統調節技術最大限度地提高了吞吐量和晶圓均勻性，同時最大限度地減少了停機時間和過程的可變性。這種蝕刻器/asher是一種用於各種蝕刻工藝的理想工具，其廣泛的應用和安全特性使其成為任何實驗室的寶貴補充。