二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293619655 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293619655
晶圓大小: 12"
Dielectric etcher, 12"
EFEM
AC Rack
VTM
(3) Gas boxes
GIB
(3) PM
(2) LP
Pallet: Cable and chiller hose
RPDB Rack
Process kit
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / - / Signal tower lamp assembly
(1) / 685-068190-004 / Gaille board
(1) / 685-068191-004 / Gap drive
(1) / 685-319860-001 / Iron server
(1) / 605-109114-001 / CPU Board
(1) / 857-019053-004 / ATM Robot
(1) / 799-000492-003 / VTM Robot body
(1) / - / VTM Robot arm
(1) / 810-066590-004 / Stepper board
(3) / 853-040482-600 / 3-Frequency matcher
(3) / 660-080455-300 / 2 Mhz Gen
(3) / 660-072825-200 / 27 Mhz Gen
(3) / 660-072826-200 / 60 Mhz Gen
(1) / 810-800256-207 / Node Board
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / 2/8 Add / OES Unit
(1) / 2/8 Add / APC Actuator board
(1) / 2/8 Add / V10P Board
(1) / 2/8 Add / LTC Board
(1) / 2/8 Add / VME Box (I/B+M/B).
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+是一款先進的蝕刻/asher設備，為半導體制造商提供可靠、準確的蝕刻和灰化解決方案。該系統是一種先進的、全自動的、使用多種技術的單晶片設備，包括熱CVD、等離子體蝕刻和真空技術。該單元具有一個大的腔室和足夠的空間，可容納直徑可達300毫米的擴展晶片。腔室充滿惰性氣體，為蝕刻和灰化提供了非常幹凈的環境。該機采用精密運動工具，提供了極其精確的蝕刻和灰化。該資產還提供可預編程的蝕刻和灰化配方,這些配方可實現精確的過程控制,並使用戶能夠調整蝕刻和灰化參數以獲得準確的結果。該模型還具有很高的固有蝕刻質量和均勻性，允許可靠和可重復的過程。2300 Exelan Flex EX+還配備了確保過程可靠性的高級安全功能。這些安全功能包括自動終止蝕刻和灰化過程（如果超過任何設定限制）,溫度監控以防止溫度過高損壞和結果數據記錄,從而使用戶能夠快速識別任何與過程相關的問題。總體而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+是半導體制造的理想蝕刻和灰化解決方案。由於其精確的運動系統和預編程的配方，這種設備是可靠的，並提供了良好的一致效果。它的安全功能還可以確保過程的可靠性,因為在任何潛在的問題發生之前就會阻止它們發生。此單元是一個可靠的高性能解決方案,可滿足任何半導體蝕刻和灰化需求。
還沒有評論