二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293641915 待售
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單擊可縮放
ID: 293641915
晶圓大小: 12"
Etcher, 12"
Aligner
BROOKS Express load port
571-810321-10598 EFEM
BROOKS 138150 Robot
571-810320-10598 VTM
108000-37 VTM Robot magratran 7
101543506270005 AC Rack
108358 Robot controller
571-035344-10598 GIB
(3) Process Modules (PM)
853-243881-001 Generator cart
RPDB
Gas box:
Part number / Line / Description
571-033051-001 / 16 / IGS Gas box
571-033051-002 / 16 / IGS Gas box
571-033051-003 / 16 / IGS Gas box
Missing parts:
(2) Signal tower lamps
(3) 853-040482-600 Matchers
(3) 660-080455-300 Generators, 2MHz
(3) 660-072825-200 Generators, 27 MHz
(3) 660-072826-200 Generators, 60 MHz
(3) 628D-26910 CM1 BARATRON Manometers, 100 mT
(3) EI-R04M Turbo pump TMP-2804LMC Controllers.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+Etcher/Asher是一款小巧但功能強大的機器,旨在確保在廣泛的蝕刻和灰化過程中獲得卓越的效果。它非常適合各種生產和研究應用，如反興奮劑研究和我們高效的離子束濺射蝕刻。蝕刻器配備了多種功能,使其能夠提供最大性能和可靠性。該設備由固定速度排氣鼓風機組成，可確保經濟運行，使系統能夠長時間運行，而不會損壞部件。它具有多種高級功能,可對蝕刻速率和均勻性進行精細控制。Exelan Flex EX+具有廣泛的蝕刻化學特性，包括：氯、溴、氟、硫、鋁和鈦蝕刻劑。該單元可以安全地加工各種尺寸、形狀和厚度的金屬、陶瓷或聚合物基板。其專利的反應式電還原機允許在最多六個晶圓加工地點進行蝕刻加工。該工具易於使用,非常適合研究、單批量制造和批量生產。它提供卓越的表面質量和粒子控制，以及在整個腔室的長度高均勻性。廣泛的安全功能不僅確保資產的壽命長，而且使其成為市場上最安全的蝕刻器/灰燼系統之一。Exelan Flex EX+以最高的可靠性而設計,提供一貫可靠的性能,使其成為許多蝕刻和灰化過程的理想解決方案。高效、節省空間的設計使它能夠適應各種實驗室和生產環境。2300 Exelan Flex EX+Etcher/Asher是一款可靠的機型,一定能提供卓越的效果。
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