二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293643636 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+是一款高效的蝕刻器/灰化器,旨在為廣泛的應用程序提供濕法和幹法支持。它具有強大的設備體系結構以最大限度地提高生產效率和吞吐量,並改進了冷卻功能以實現卓越的工藝一致性,尤其是在幹燥工藝中。2300 Exelan Flex EX+配備了專有的低壓氯基氣體註入系統，允許用戶在比傳統蝕刻系統低得多的水平上利用氣體濃度。這一點,加上其卓越的溫度均勻性,可以精確控制一系列材料的蝕刻速率,使其成為高級工藝集成和精密蝕刻應用的理想選擇。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+還具有先進的單元體系結構,旨在實現均勻性、可重復性和優化的過程控制。2300 Exelan Flex EX+還具有高級、靈活的設計選項,以適應不同的基板尺寸和幾何形狀。其三區泵機配置可優化所有加工模塊的所有基板尺寸要求,提供完美的一致性、均勻性和工程控制。它獨特的多軸可配置終端效應器能夠在目標模塊中可靠、平穩地定位基板,從而實現精確和可重復的過程執行。在安全性方面,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+配備了先進的工藝監控器,可確保適當的基材轉移和準確的工藝控制。它還提供各種微調和診斷工具,以確保最佳性能和流程一致性,以及實時流程監控,從而能夠排除意外問題。總而言之,2300 Exelan Flex EX+是一款尖端蝕刻器/asher,提供出色的蝕刻功能、堅固的刀具體系結構、改進的冷卻性能,以及針對不同基板的靈活設計選項。它專為蝕刻工藝的精確度和可重復性而設計，並具有高級功能，以提高工藝控制和安全性。
還沒有評論